近日，专注于半导体设备关键零部件领域的综合性射频等离子系统供应商励兆科技完成数千万元Pre-A++轮融资，并正式启用位于上海临港的新厂区。本轮融资由金浦智能领投，临港科创投等投资方共同参与投资，强大的资本助力将进一步推动励兆科技在技术研发、产能扩张和市场拓展等方面的快速发展。
励兆科技的核心创业团队由多位半导体行业的青年科学家组成，专业领域涵盖射频电力电子技术、等离子体科学和半导体设备工艺等研究方向。其主要产品包括射频电源（RF Generator）、自动匹配器（Auto Matcher）、远程等离子源（Remote Plasma Source）、等离子体探测器（VI Sensor）以及相关的各种射频部件等。这些产品均已通过国内主要客户的验证，并逐步批量导入刻蚀（Etch）、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、原子层沉积（ALD）、快速退火（RTP）和离子注入（Implant）等工艺的国产半导体设备中。