安储科技有限公司(以下简称“安储科技”)宣布已完成Pre-A轮融资,本轮融资由中科创星领投,天汇资本、张家港智慧创投跟投。资金将用于产能扩建与设备研发。
安储科技成立于2020年,专注于先进电子材料研发、生产和销售,主营产品为配方型功能电子化学品(如抛光液、清洗液, 湿法刻蚀液, 光刻胶剥离液等)以及电子特气安全存储负压钢瓶两大产品系列。
公司核心成员包括拥有国际知名材料企业多年研发、生产经验的博士和专业人才,拥有多年先进制程节点以及各种材料表面的抛光、清洗经验,以成为中国领先的电子材料平台为愿景,旨在为半导体领域提供更佳的抛光清洗方案以及更先进的电子材料。
碳化硅作为宽禁带半导体,适合高压、大电流的应用场景,近年来受到新能源汽车、光伏储能等行业影响,市场增速极快,国内碳化硅产业也在2021年~2022年得到迅速发展。但碳化硅衬底硬度高、脆性大,给抛光带来了极大难度。而抛光后因其晶圆和机台的清洗工艺流程更长,也提高了碳化硅晶圆的制造成本。因此,目前碳化硅衬底的抛光液和清洗液由国际厂商主导,在国内仍属新兴领域。
在碳化硅衬底抛光清洗上,安储科技拥有抛光液、抛光后晶圆清洗液、抛光后机台抛光垫清洗液全工艺环节耗材产品。与传统方案相比,安储科技的产品性能更加优异,成本更具竞争优势。
在碳化硅衬底抛光液方面,目前Fujimi、Ferro、卡博特(Cabot)、圣戈班(Saint-Gobain)等国际厂商占据全球大部分市场,这些厂商普遍采用氧化铝作为研磨颗粒。安储科技则创新性的采用了金属氧化物作为研磨颗粒,其ACTL-WS系列抛光液不仅拥有较高的抛光速率,同时可获得低表面粗糙度,低缺陷的晶圆表面。而且抛光液可以循环使用,降低客户使用成本。
抛光后的晶圆清洗液方面,晶圆表面残留的高锰酸钾、抛光粒子,碎屑等污染物,对碳化硅表面污染程度比硅更高。此外传统的RCA工艺清洗流程长,工艺要求高。安储科技的WK系列清洗液是专为上述场景设计的配方类清洗液,使用一步清洗,缩减了清洗工艺,清洗效果好,能有效的去除晶圆表面有机物以及颗粒等污染物。
另外,碳化硅衬底抛光后机台抛光垫清洗液方面,安储科技开发的PK系列抛光后机台抛光垫清洗液可以有效的清洗抛光后残留物,清洗性能优异,清洗时间短,并可稀释使用,降低客户成本。
基于多年的半导体材料开发经验,在硅基制程CMP后清洗方面安储科技也开发了一系列清洗产品。 半导体制程中化学机械抛光(CMP)后表面易产生研磨粒子,有机物,金属离子等缺陷。需要通过特殊的功能性化学清洗减少缺陷,提高良率,这是芯片生产中必须的步骤。安储科技开发了系列PCMP抛光后清洗, 产品覆盖130nm至5nm制程, 适用于不同材料抛光后的清洗, 比如铜, 钴, 钨以及氧化硅表面等。
在铜蚀刻液领域,韩国厂商占据主流地位,其难点在于保持锥角稳定,以及槽式清洗时残留残渣对溶液清洗性能的影响。安储科技开发的铜蚀刻液不含氟离子,环保安全,可精确控制对铜的蚀刻速率以及刻蚀角度,没有倒角,并且无残渣残留,产品拥有更长的使用寿命,在较高铜离子浓度下仍能保持优异的蚀刻性能。
在高端光刻胶剥离液领域,多以进口产品为主,其难点在于当光刻胶厚度更大的时候,传统光刻胶剥离液很难在其它接触材料没有损伤前提下,完全清除干净。安储科技高效低成本的配方型光阻剥离液能够有效清除各种光刻胶,同时不蚀刻或侵蚀其它暴露材料,不仅适用于先进半导体芯片,同时也适用于LCD、LED、平板显示。
在电子特气负压存储钢瓶领域,美国英特格(Entegris)垄断了全球85%以上的市场份额,国内厂商相关产品大多自产自用。安储科技开发的电子特气负压存储钢瓶内装多孔材料,具有高比表面积,对磷烷(PH3)和砷烷(AsH3)三氟化硼(BF3),四氟化锗(GeF4)等电子特气有着很高的吸附能力,并且储存稳定安全,不会影响气体纯度,释放量高。经过测试,产品在各项性能指标方面已经完全达到了进口产品水平。